C6H15FSi
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| C6H13FSi
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| C6H13F | C6H17FSi2 | |
化学式C6H15FSi（分子量134.27 g/mol）可以指：
- 三乙基氟硅烷 CAS 358-43-0
- 二甲基叔丁基氟硅烷 CAS 2357-76-8
- 三甲基(3-氟丙基)硅烷 CAS 54655-50-4
- 二甲基正丁基氟硅烷 CAS 351336-96-4
- 二异丙基氟硅烷 CAS 187950-62-5
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